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一文与您分享石英坩埚的常见问题相应解决方法

更新时间:2025-01-17      点击次数:195
  石英坩埚是由高纯石英砂通过特定工艺高温烧制而成的器皿,主要成分是二氧化硅(SiO2),具有耐高温、耐腐蚀、高纯度、热稳定性好等优良特性。它广泛应用于半导体、光伏、化工及现代工业生产等领域,特别是在单晶硅棒的拉制过程中,作为盛装熔融硅液的关键一次性消耗品。
 
  石英坩埚在使用过程中可能会遇到多种问题,这些问题若不及时解决,可能会影响生产效率和产品质量。以下是一些常见问题及其相应的解决方法:
 

 

  1、在高温下可能会产生析晶现象。析晶会导致内壁涂层破坏,使得涂层下的气泡层与熔硅发生反应,从而影响晶体结构。为解决这一问题,需确保生产质量,选用符合生产要求的原料,并严格控制熔料温度。同时,对新的石墨器件进行高温煅烧,以减少外层析晶的可能性。
 
  2、发生变形。变形会影响拉晶操作,甚至导致无法继续正常拉晶。为防止变形,需确保装料方法正确,避免液位线上的料与接触呈面接触状态。同时,合理控制熔料温度,避免温度过高或过低导致变形。此外,还需注意存放和运输过程,避免受到外力挤压导致变形。
 
  3、鼓包现象。鼓包会影响拉晶质量,甚至导致晶棒跌落等严重事故。为防止鼓包,需严格控制烧炼温度,避免超过耐温极限。同时进行定期检查,及时发现并处理鼓包问题。
 
  综上所述,石英坩埚在使用过程中需注意析晶、变形和鼓包等问题。为确保生产效率和产品质量,需采取相应措施进行预防和解决。同时,操作人员需具备一定的专业知识和操作技能,以便及时发现并处理各种问题。
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